ULVAC 愛發(fā)科現(xiàn)貨日本皮拉尼真空計(jì)

ULVAC 愛發(fā)科現(xiàn)貨日本皮拉尼真空計(jì)
特點(diǎn)
傳感器規(guī)格：如果不需要壓力指示器
?真空計(jì)成降低
?控制板空間節(jié)省
?配線簡(jiǎn)化
測(cè)定子更換更容易
燈絲使用耐腐蝕材料鉑
到目前為止使用的測(cè)量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
SP1：壓力為0至5 V輸出（非線性輸出）
電源電壓：24 VDC輸入

產(chǎn)品型號(hào)：SP1
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-05-16
訪問量：637

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產(chǎn)品詳情

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	價(jià)格區(qū)間	1萬-2萬
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,建材/家具,綜合
供貨號(hào)	137.1702.5688

ULVAC 愛發(fā)科現(xiàn)貨日本皮拉尼真空計(jì)

特點(diǎn)

傳感器規(guī)格：如果不需要壓力指示器
?真空計(jì)成降低
?控制板空間節(jié)省
?配線簡(jiǎn)化
測(cè)定子更換更容易
燈絲使用耐腐蝕材料鉑
到目前為止使用的測(cè)量部件（SP1：WP-01,02,03,16）仍在使用
可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
SP1：壓力為0至5 V輸出（非線性輸出）
電源電壓：24 VDC輸入

用途

用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

規(guī)格

類型	傳感器單元
模型	SP1
兼容的傳感器頭	WP-01、WP-02、WP-03、WP-16
準(zhǔn)確性	±15%（51Pa～760Pa）
	±30%（10Pa～1000Pa）
	±50%（0.4Pa～3000Pa）
工作溫度范圍	10～40℃
測(cè)量值輸出	非線性輸出：0至5VDC（最大10V）
設(shè)定點(diǎn) 1/2 壓力設(shè)定調(diào)節(jié)監(jiān)視器	非線性輸出：0至5VDC（最大10V）
控制輸出信號(hào)	集電極開路輸出，負(fù)邏輯
	錯(cuò)誤信號(hào)
	設(shè)定值 1/2
LED顯示屏	功率、錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1、設(shè)定點(diǎn) 2
電源電壓	DC24V±2V，90mA（最大）
輸入/輸出連接器	D-sub-15P（M2.6螺絲）
重量	190克/0.41磅（不包括傳感器頭）