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ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應渦輪分子泵，帶有使用磁懸浮軸承的獨立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號陣容?？刂破鲉卧梢员O(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。
產品型號：UTM-MS廠商性質：代理商更新時間：2025-05-16訪 問 量：673
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| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 價格區(qū)間 | 2千-5千 |
|---|---|---|---|
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,生物產業(yè),能源,建材/家具,綜合 |
| 供貨號 | 137.1702.5688 |
ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應
ULVAC 愛發(fā)科 渦輪分子泵 日本供應
泵體和控制器分開?？刂破骺梢员O(jiān)控運行狀態(tài)并支持各種通信標準。
自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統裝置的設計更靈活。
排氣速度300L/s～4000L/s的型號陣容。
分子泵轉速在25-100%范圍內可變。通過改變轉速在腔室中實現壓力調節(jié)。
高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗、急停測試等各種安全性確認試驗。
各種設備的主真空排氣系統
- 半導體制造設備
- 蒸鍍設備
- 濺射設備
- 研究開發(fā)設備
- 分析設備、實驗裝置等
主真空泵系統，用于不產生副反應生成物的輕工藝產線的真空系統。
其他的高真空排氣系統。
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出線口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | ||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 抽速*2 | 氮氣 | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 氬氣 | 升/秒 | ー | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氫2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮率 | 氮氣 | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8×10 4 | |||||||||
| 氫2 | 1×10 4 | 4×10 3 | ||||||||
| 最大入口壓力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口壓力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 旋轉速度 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
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